[이투데이]‘반도체 생명수’ 초순수 국산화 쾌거…2030년까지 후속 R&D 추진
“반도체 물 기술은 초순수(Ultrapure Water)가 ‘끝판왕’입니다. 그동안 외국산에 의존했지만, 국내 기술로 생산된 초순수로 반도체 웨이퍼를 만든 건 의미가 큽니다”
박재현 환경부 물관리정책실장은 9일 경북 구미 SK실트론 제2공장에서 환경부 주최로 열린 ‘초순수 국산화 실증플랜트 통수식’에서 본지와 만나 이같이 말했다. 환경부는 이달 해당 공장 내 설치·운영되는 초순수 실증플랜트에서 설계·시공·운영 기술 100%, 핵심 기자재 70%를 국산화해 반도체 공정에 국산 초순수를 공급하는 데 성공했다. 하루 최대 1200톤(t)의 초순수를 생산할 수 있는 규모다.
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